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                      URE-2000/35型紫外光刻機(jī)

                                  
    URE-2000/35型紫外光刻機(jī)
    
                                  
        
                                  更新時(shí)間：2024-06-04
                                  
        
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                                  URE-2000/35型紫外光刻機(jī)，采用三柔性支點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)調(diào)平；真空接觸自動(dòng)曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
                                  
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                      TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

                                  
    TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)
    
                                  
        
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                                  TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)，照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈（德國(guó)歐司朗）;   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái);   光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線(xiàn)濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
                                  
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                      DS-2000/14G型光刻機(jī)

                                  
    DS-2000/14G型光刻機(jī)
    
                                  
        
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                                  DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明。
                                  
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                                安徽智微科技有限公司
                                
                    
                                地址：安徽省合肥市經(jīng)開(kāi)區(qū)尚澤大都會(huì)A座2214
                                
                    
                                郵箱：1053185136@qq.com
                                
                    
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